•矽晶圓設備加工

•LSI加工設備
•LCD/CF/PDP加工設備
•光電製程加工設備

















•Scribe設備 DPS series

DPS系列是應用於LD/LED之GaAs、InP、sapphire材質之substrate切割設備。
將substrate set up 在Stage上由diamond cutter自動切割。

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•Breaking 設備 DBM series

DBM系列是應用於LD/LED之GaAs、InP、sapphire材質之substrate切割成Bar形狀
後之裂片設備。將貼付在tape之substrate set up 在stage上,可自動alignment對位,由blade做裂片處理。



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•Bar tester設備 DBLT-3300T

本設備用於Laser bar chip之電氣特性、光出力特性、波長等自動分析測定,並判斷良品與否。測定驅動方式以pulse驅動,對device本身安全性有考量。

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•Chip tester設備 DCLT-8300

本設備用於Laser chip之電氣特性、光出力特性、波長等自動分析測定,並判斷良品與否。測定驅動方式以pulse驅動,對device本身安全性有考量。


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•Final tester設備 DPLT-8300

本設備用於Laser package完成品之電氣特性、光出力特性、波長等自動分析測定,並
判斷良品與否。測定驅動方式以
CW驅動(持續通電),對device本身安全性有考量。

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•Pulse aging設備 DSLD-100HP

短波長用LD pulse 之life time測定設備。優異操作性能與穩定性高之量測,可應用在研發用途10channels type和量產用100 channels type機型。

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